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一种多晶硅生产装置及多晶硅生产方法

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本发明公开了一种多晶硅生产装置，包括多晶硅固化接收容器，微波表面波等离子体炬，多晶硅固化接收容器接收微波表面波等离子体炬生成的多晶硅。本发明还公开了一种多晶硅生产方法，采用SiHCl

著录项

公开/公告号CN102060298B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-09

原文格式PDF
申请/专利权人合肥飞帆等离子科技有限公司;
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申请/专利号CN201010559873.8
发明设计人任兆杏;任炟;刘静;
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申请日2010-11-23
分类号
代理机构安徽合肥华信知识产权代理有限公司;
代理人余成俊
地址 230088 安徽省合肥市高新区长江西路2221号省循环经济院A座408室
入库时间 2022-08-23 09:12:23

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-01-06

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/03 授权公告日:20130109 终止日期:20141123 申请日:20101123

专利权的终止
2013-01-09

授权

授权
2011-07-20

实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/03 申请日:20101123

实质审查的生效
2011-05-18

公开

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