公开/公告号CN105879168A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 北京航天长峰股份有限公司;
申请/专利号CN201410785284.X
发明设计人 刁俊;
申请日2014-12-16
分类号
代理机构
代理人
地址 100854 北京市海淀区永定路甲51号航天数控大楼
入库时间 2023-06-19 00:22:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-10
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):A61M16/00 申请公布日:20160824 申请日:20141216
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-08-24
公开
公开
机译: 气相沉积设备及其控制方法,使用该气相沉积设备的气相沉积方法以及装置的制造方法
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