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可旋转可加热放置工具和包括这种放置工具的芯片焊接机

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摘要

一种可在垂直于衬底的z轴方向上移动的放置工具，包括：芯片保持元件，保持元件包括加热元件；保持元件的容器，容器相对于z轴可旋转地安装在放置工具处并包括由热绝缘材料制成的绝缘体；容器的驱动装置，驱动装置能够使容器绕z轴旋转；冷却流体的供给装置，保持元件的容器可通过供给装置被冷却。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-25

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/67 申请公布日:20160727 申请日:20090908

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-08-24

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20090908

实质审查的生效
2016-07-27

公开

公开

1. 可旋转可加热放置工具和包括这种放置工具的芯片焊接机 [P] . 中国专利： CN105810611A . 2016-07-27
2. 可旋转可加热放置工具和包括这种放置工具的芯片焊接机 [P] . 中国专利： CN102217053A . 2011-10-12
3. ROTATABLE HEATABLE PLACEMENT TOOL AND CHIP MOUNTING SYSTEM COMPRISING SUCH A PLACEMENT TOOL [P] . 韩国专利： KR101658252B1 . 2016-09-22

机译：可旋转的热放置工具和包括这种放置工具的芯片安装系统
4. ROTATABLE, HEATABLE PLACEMENT TOOL AND CHIP MOUNTING SYSTEM COMPRISING SUCH A PLACEMENT TOOL [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2327090B1 . 2020-11-04

机译：可旋转的，可放置的工具和包括这种工具的芯片安装系统
5. ROTATABLE, HEATABLE PLACEMENT TOOL AND CHIP MOUNTING SYSTEM COMPRISING SUCH A PLACEMENT TOOL [P] . SG169593A1 . 2011-04-29

机译：可旋转，可放置的工具和包括这种工具的芯片安装系统