一种控制和解析PI微动台的装置

摘要

本发明公开了一种控制和解析PI微动台的装置，该装置主要用于光刻机中纳米定位工件台子系统。上位机将网口数据作为PI微动台的控制输入，送往网口数据接收发送模块处理；该装置中的数据处理模块将网口数据中的ASCII Command数据流转换成能被PI微动台识别的GCS Command数据流；再通过串口数据接收发送模块将GCS Command数据流发往PI微动台；装置中串口数据接收发送模块负责接收PI微动台的反馈数据，并通过数据解析模块将GCS Command数据流转换为ASCII Command数据流；网口数据接收发送模块将解析后的数据按规定格式重新封装后，发送到上位机。该装置集成在原有控制电路中，在不影响原有控制功能的前提下，简化了PI微动台的控制环节，使得纳米定位工件台子系统结构更紧凑，性能更可靠，实时性更强。