用于采用彼此不同的操作规定粘接裸芯的装置

摘要

本发明涉及一种裸芯粘接装置，该装置包括：用于支撑包括具有多个等级的裸芯的晶片的工作台单元、用于分别将第一和第二衬底转移至被设置在与工作台单元相邻位置的粘接区的第一和第二衬底转移单元、按照第一粘接操作规定将裸芯粘接到第一衬底上的第一粘接单元、和用于按照不同于第一粘接操作规定的第二粘接操作规定将裸芯粘接到第二衬底上的第二粘接单元。