一种直线和角度位移传感器测量系统及其测量方法

摘要

一种直线和角度位移传感器测量系统及其测量方法，所述测量系统包括伺服电机、滚珠丝杠、螺母滑块、丝杠固定座、联轴器、角度位移传感器、标准光栅尺和被测直线位移传感器；所述滚珠丝杠穿过所述螺母滑块，且两端分别安装所述丝杠固定座，所述伺服电机和所述角度位移传感器通过所述联轴器分别安装于所述丝杠固定座上，所述滚珠丝杠旋转带动所述角度位移传感器同步运动；所述标准光栅尺和所述被测直线位移传感器分别通过连接磁铁的磁力而被所述螺母滑块驱动。本发明建立综合性能的直线位移和角度位移传感器的测量系统，实现高精度和高分辨率的测量通用直线位移传感器和角度位移传感器，同时降低成本和节约占地空间。