化合物半导体产品制造过程中的工艺验证方法

摘要

本发明提供了一种化合物半导体产品制造过程中的工艺验证方法，该方法中，先确定关键工序及关键工序的制程参数，再在关键工序上实时采集预设批次在制品的第一制程参数，如果根据第一制程参数判定工艺水平不达标，则控制生产机台停机，工程师进行工艺调整后生产机台继续生产，然后再次在关键工序上实时采集预设批次在制品的第二制程参数，最后对第一制程参数和第二制程参数进行显著性水平为0.05的t检验得到t检验统计量，如果t检验统计量小于或等于预设统计量，则控制生产机台停机并发出报警，以使工程师继续进行工艺调整。通过上述方式，本发明可以为工程师是否再次进行工艺调整提供有力的理论依据。