法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-22
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05B33/08 申请公布日:20160413 申请日:20151228
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-05-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H05B33/08 申请日:20151228
实质审查的生效
2016-04-13
公开
公开
机译: 基于usn的室内外照明灯的电能管理智能LED灯控制方法,装置和系统
机译: 用于投影曝光系统即EUV投影曝光系统的照明装置,具有使光透射到场镜和光瞳镜的光源,以及形成在光瞳镜的不同位置和光区域的场镜。
机译: 用于微光刻投影曝光系统的掩模照明方法,涉及确定强度分布,使得尽管变形效应,Y方向和X方向的光具有相同的数值孔径