一种废液收集装置

摘要

本发明涉及一种废液收集装置，可用于半导体晶片加工过程中匀胶、显影设备的废液收集，包括废液桶固定架、废液汇集盒、套管、手柄及废液桶，其中废液汇集盒安装在所述废液桶固定架上，该废液汇集盒的排废管上套设有可相对升降的套管；所述废液桶放置在废液桶固定架的下方，且该废液桶上的桶口与所述套管相对应，所述套管通过相连接的手柄的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口或由所述桶口抽出，所述废液汇集盒收集的废液通过套管流入所述废液桶中。本发明在废液汇集盒的排废管上套设了可升降的套管，利用手柄的抬起或下压，使套管升降，进而插入到废液桶中或从废液桶中抽出，既解决了废液桶易与排放管路粘连的问题，而且方便废液桶取放。

说明书

技术领域

本发明涉及一种废液收集装置，可用于半导体晶片加工过程中匀 胶、显影设备的废液收集。

背景技术

在半导体晶片加工过程中，需要用匀胶机对晶片进行光刻胶的涂 覆，以便晶片完成光刻工艺。目前的匀胶机产生的废液有两种收集方 式，一种是直接排放到工厂内部的排废管路中，另一种是排放到设备 内部的废液桶中，当采用第二种方式排放到设备内部的废液桶时，由 于光刻胶等化学品的粘度比较大，经常是排废管与废液桶粘连，造成 取放废液桶困难。

发明内容

为了解决废液桶与排放管路经常发生粘连、取放废液桶不便等问 题，本发明的目的在于提供一种废液收集装置。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括废液桶固定架、废液汇集盒、套管、手柄及废液桶， 其中废液汇集盒安装在所述废液桶固定架上，该废液汇集盒的排废管 上套设有可相对升降的套管；所述废液桶放置在废液桶固定架的下 方，且该废液桶上的桶口与所述套管相对应，所述套管通过相连接的 手柄的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口或由所述桶口抽出， 所述废液汇集盒收集的废液通过套管流入所述废液桶中。

其中：所述手柄通过压杆与套管相连，该压杆的一端与所述套管 相连，另一端作为所述手柄抬起或下压的支点、与所述废液桶固定架 抵接；所述压杆的端面为“L”形，“L”形的一端设有“U”形开口， 所述套管容置于该“U”形开口中、并与所述“U”形开口的开口端相 连，所述“L”形的另一端为弧面、与所述废液桶固定架滚动抵接；

所述废液桶固定架上安装有检测废液桶中液面高度的传感器；所 述废液汇集盒上均布有多个废液管接口，各废液管接口分别与所述排 废管相连通；所述排废管、套管及桶口的轴向中心线共线。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明在废液汇集盒的排废管上套设了可升降的套管，利用 手柄的抬起或下压，使套管升降，进而插入到废液桶中或从废液桶中 抽出，既解决了废液桶易与排放管路粘连的问题，而且方便废液桶取 放。

2.本发明的套管通过压杆与手柄连接，手柄在抬起或下压的过 程中，压杆弧面的一端与废液桶固定架滚动抵接，便于手柄的抬起或 下压。

3.本发明的废液汇集盒上部均布了多个废液管接口，便于与匀 胶及显影设备内部的废液管连接。

附图说明

图1本发明的结构主视图；

图2为图1的左视图；

图3为图1的俯视图；

图4为图1的轴侧视图；

图5为图1的A—A剖面视图(手柄落下)；

图6为图1的A—A剖面视图(手柄升起)；

其中：1为废液桶固定架，2为废液汇集盒，3为套管，4为压杆， 5为手柄，6为传感器安装架，7为传感器，8为废液桶，9为排废管， 10为桶口，11为废液管接口。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～4所示，本发明包括废液桶固定架1、废液汇集盒2、套 管3、压杆4、手柄5、传感器安装架6、传感器7及废液桶8，其中 废液汇集盒2固定在废液桶固定架1的上表面上，废液桶8放置在废 液桶固定架1的下方。废液汇集盒2的上部均布有多个废液管接口 11，匀胶及显影机台内部废液管插入各废液管接口11中，匀胶及显 影机台产生的废液经废液管注流入到废液汇集盒2中。废液汇集盒2 的上部设有排废管9，该排废管9上套设有可相对升降的套管3。手 柄5通过压杆4与套管3相连，该压杆4位于废液桶固定架1的上方， 压杆4的端面为“L”形，“L”形的一端设有“U”形开口，套管3容 置于该“U”形开口中、并与“U”形开口的开口端相连，“L”形的 另一端为弧面，作为手柄5抬起或下压的支点与废液桶固定架1滚动 抵接，手柄5固接在压杆4上。

废液桶8上的桶口10与套管3相对应，排废管9、套管3及桶 口10的轴向中心线共线。套管3通过手柄5的抬起或下压实现升降， 进而插入桶口10或由桶口10抽出。废液汇集盒2收集的废液通过套 管3流入废液桶8中。

传感器7安装在传感器安装架6上，传感器安装架6固定在废液 桶固定架1的侧面，传感器7可检测废液桶8中液面的高度。

本发明的工作原理为：

如图6所示，手柄5处于升起状态时，手柄5通过压杆4的作用， 使套管3下降，插入废液桶8上的桶口10中；匀胶及显影机台内部 废液管插入废液汇集盒2上方的废液管接口11中，匀胶及显影机台 产生的废液经废液管流入到废液汇集盒2中，经过套管3流入到废液 桶8中；当废液桶8中的液面达到传感器7所安装的位置时，传感器 7报警，提示更换废液桶8。

当废液桶8中的废液装满时，如图5所示，手柄5处于下压状态 时，手柄5通过压杆4的作用，使套管3升起，从废液桶8上的桶口 10中脱离，取出装满废液的废液桶8，将空的废液桶8放置到废液桶 固定架1的下方，抬起手柄5，使套管3插入到废液桶8中，继续收 集废液，直到第二个废液桶8中的液面达到传感器7所安装的位置时， 再向上述操作更换空的废液桶。