烘烤腔中的气流控制装置

摘要

本发明公开了一种烘烤腔中的气流控制装置，可以带走烘烤腔内的热量以便维持腔内热量的动态平衡，还可以进一步避免因腔内热量过高导致的设备受损的问题。其技术方案为：气流控制装置安装在晶圆涂胶机的烘烤腔的顶部，包括：装置本体；进气口，位于装置本体的底面，烘烤腔中的气流通过进气口导入；以及出气口，位于装置本体的一侧面，烘烤腔中的气流经进气口导入后，从出气口导出。