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一种核壳结构ZnO纳米线阵列的生长方法

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本发明公开的的核壳结构ZnO纳米线阵列的生长方法，采用的是热蒸发法，步骤如下：1)采用磁控溅射装置在衬底上生长籽晶层。2)将纯ZnO粉末和石墨粉放入一端封口的石英管中，将生长了籽晶层的衬底放在石英管内放入生长室，生长得到在衬底上垂直的ZnO纳米线阵列。3)利用旋涂仪把CH

著录项

公开/公告号CN102040187B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-26

原文格式PDF
申请/专利权人浙江大学;
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申请/专利号CN201010545476.5
发明设计人朱丽萍;蔡芳萍;黄俊;杨治国;
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申请日2010-11-12
分类号
代理机构杭州求是专利事务所有限公司;
代理人韩介梅
地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
入库时间 2022-08-23 09:12:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-01-04

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 33/00 授权公告日:20121226 终止日期:20151112 申请日:20101112

专利权的终止
2012-12-26

授权

授权
2011-06-15

实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20101112

实质审查的生效
2011-05-04

公开

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