蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺

摘要

本发明公开了一种蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺，其中蓝宝石长晶炉热场的钨筒的坩埚被坩埚支架支撑设置，因坩埚支架与钨筒之间设有下隔热钼屏，下隔热钼屏上设有氧化锆纤维板，使热场的温度梯度一致。还包括籽晶夹头组件，该籽晶夹头组件的籽晶杆悬挂在加热笼组件内，并伸入坩埚内，使籽晶的提拉时也能够保持热场的密封性，也保证了温度梯度的一致性。温度梯度良好使晶体的质量高，位错密度小，晶体晶界少、气泡少。而蓝宝石长晶炉，因其设有本发明的热场，使其能够生产出优质的晶体，因温度梯度一致，使其生产效率高，能够节省企业的成本。因此利用本发明的长晶工艺，其生产出的晶体质量和品率均提高了，节省了成本，提高了生产效率。