一种基于可见光反射光谱特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置

摘要

一种基于可见光反射光谱特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置，由笔记本电脑、准直透镜、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、光纤测头、电动位移台、光谱仪、钨卤素灯光源组成；被测工件安装在回转工作台上，光纤测头安装在电动位移台上，钨卤素灯光源提供的可见光通过光纤输出作为入射光，依次经准直透镜准直调整、线性衰减片强度调整、小孔光阑调制后照射到被测工件上，由于入射光在被测工件表面发生色散现象，被测工件表面的可见光反射光谱通过透镜变为平行光后被光纤测头测量，测量结果由光谱仪输入到笔记本电脑中。该测量装置光路调整方便，测量精度高，对测量环境要求不严格，具有便携性，可以在加工现场使用。