缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备

摘要

根据实例性实施例，本发明提供一种缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备，所述缺陷观察装置包括：照相机，用以拍摄基板；成像系统，用以在所述照相机上形成所述基板的表面的图像；以及照明系统，用以选择具有互不相同的波长的多种照明光中的至少一种以向所述基板发射照明光。本发明涉及一种能够通过选择性地利用照明光的颜色来增强对于基板上的缺陷的可见性的缺陷观察装置以及一种包含所述缺陷观察装置的激光加工设备。