沉积光伏器件用的微晶硅层的方法与设备

摘要

本发明提供一种具有改良沉积速率与良好膜层品质的微晶硅层沉积方法。此外，也提供一种具有此微晶硅层的光伏(PV)电池。在一实施方式中，此方法包含以大于每分钟约20nm的沉积速率在基板上沉积微晶硅层，其中该微晶硅层的结晶体积在约20％到80％之间。