金属氨化物沉积前驱物及采用惰性安瓿衬里的此类前驱物的稳定化

摘要

描述了用于前驱物的稳定化的方法及设备，这些方法及设备可用于沉积含锰膜。某些方法及设备涉及经添加衬里的安瓿和/或2-电子供体配体。