法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-02
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/20 申请公布日:20150909 申请日:20150505
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-10-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/20 申请日:20150505
实质审查的生效
2015-09-09
公开
公开
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