法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-20
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01L1/22 申请公布日:20150819 申请日:20150522
发明专利申请公布后的驳回
2015-09-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/22 申请日:20150522
实质审查的生效
2015-08-19
公开
公开
机译: 基于薄膜纳米微机电系统的电阻应变式压力传感器的制造方法
机译: 半导体型压力传感器,基于施加到硅板上的压力或力进行感应
机译: 物联网使用垫式压力传感器的基于物联网的监控装置和方法