一种单轴压电加速度计

摘要

一种单轴压电加速度计，涉及压电加速度计。提供可提高加速度计灵敏度，增加其频率带宽的一种单轴压电加速度计。设有质量块，质量块呈长方体，在质量块的顶部两侧分别沿设左梁和右梁，左梁、右梁与质量块成一体，在左梁上表面设有左梁左压电片和左梁右压电片，在右梁上表面设有右梁左压电片和右梁右压电片；在各压电片的上表面均设有一层Al电极，在各压电片的下表面均设有一层Pt/Ti电极。将三个方向加速度的检测分配到每一个器件上；获得了较高的电荷灵敏度，三个方向上的检测之间不会存在串扰，通过采用对称连接和反对称连接，有效避免了各个方向检测之间的串扰；提高了加速度计的动态频宽。