曝光及显影设备以及曝光及显影方法

摘要

本公开提供一种曝光及显影设备以及曝光及显影方法。该曝光及显影设备包括：边缘曝光装置，用于对基板的边缘进行曝光；显影装置，用于对曝光后的基板进行显影，该边缘曝光装置位于该显影装置的入口处；其中，该基板在被输送至该显影装置的过程中，被该边缘曝光装置进行边缘曝光。由于在显影装置的入口处设置边缘曝光装置，基板在进入显影装置的过程中即可同时完成边缘曝光，因此不必多次搬送基板，可缩短工序，大幅提高加工效率。