一种异方性导电膜紫外激光邦定装置

摘要

一种异方性导电膜紫外激光邦定装置包括紫外激光源、光处理器、振镜、石英底座、压头、压力控制装置、程序控制器；该石英底座的材料为紫外光学石英玻璃，呈倒“U”型结构。该压头位于该石英底座的上方；该压力控制装置位于该压头上方，该压力控制装置连接该压头；该程序控制器与该紫外激光源、光处理器、振镜分别连接；所述光处理器对紫外激光源输出的激光进行处理，输出激光矩形束斑；所述的振镜将上述激光矩形束斑经全反射后照射透过该石英底座。本发明装置，在用于光固化型ACF的邦定时无需增加热源装置，在用于热固化型ACF邦定时，升温速度更快，温度控制更准确，缩短了固化时间，提高了工作效率。