法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-24
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/25 申请公布日:20120919 申请日:20120510
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-11-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/25 申请日:20120510
实质审查的生效
2012-09-19
公开
公开
机译: 干涉条纹分析方法,干涉条纹分析装置,投射曝光装置以及装置的制造方法
机译: 使用具有至少两个不同波长的光通量的多波长干涉仪,一种测量装置以及一种测量方法
机译: 多波长干涉条纹的形状测量方法