超快皮秒脉冲激光加工超疏水性微结构表面的装置及方法

摘要

超快皮秒脉冲激光加工超疏水性微结构表面的装置及方法，属于功能性微结构表面的制备领域。为了解决现有功能性元件的加工工艺和加工技术存在的高投入和低产出的问题。本发明的装置包括超快皮秒脉冲激光源、光频隔离器、五个反射镜、旋转液晶偏振片、偏振分束器、两个束流收集器、半波片、聚焦透镜、倍频发生器LBO晶体、分色镜、控光装置、光束轮廓曲线仪、光束放大组件开普勒扩束镜、聚焦加工镜头、加工平台、显微成像CCD组件和控制系统，本发明所述的方法：将钢材料工件固定在加工平台Z向导轨带动表面上；调节光路；用探针对工件表面探测；通过加工平台X向和Y向导轨的运动带动工件运动。用于超疏水性微结构表面的制备。