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可容纳多个水热釜的水热法晶体生长炉

摘要

本发明提供一种可容纳多个水热釜的水热法晶体生长炉。其特点在于单个晶体生长炉内可以容纳多个水热釜,并使用隔温板来防止水热设备中上下加热区的温度干涉,结构简单,控温准确,节能环保。本发明采用如下技术方案:一种可容纳多个水热釜的新型水热法晶体生长炉,包括:可放置多个水热釜的石墨炉膛,隔温板,加热电炉丝,测温控温装置,顶部保温盖,保温填料和壳体。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-11-18

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B7/10 申请公布日:20120704 申请日:20120213

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B7/10 申请日:20120213

    实质审查的生效

  • 2012-07-04

    公开

    公开

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