基于MEMS扫描微镜的小型化无镜头激光三维成像系统及其成像方法

摘要

本发明公开了一种基于MEMS扫描微镜的小型化无镜头激光三维成像系统及其成像方法，该系统采用红、绿、蓝三色激光器作为照明光源，三色激光输出光功率经调制后组合为一束白光投射到目标表面；使用光电接收器组接收目标表面散射光中的红、绿、蓝光分量，并由测量电路获得单个被测像素的距离值和三色光分量的幅度值。微控制器根据三色光分量的幅度值计算单个被测像素的三色亮度值，并利用实时距离平方修正方法获得该像素的三色真实亮度值。微控制器控制MEMS微镜进行扫描，获得全部像素的距离值和真实亮度值，并组合生成目标的深度图像和灰度图像，最终获得目标的三维彩色图像。本发明无需光学镜头，成像分辨率高、速度快、结构简单、便于小型化。