公开/公告号CN102486613A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-06
原文格式PDF
申请/专利权人 上海琪川感光设备有限公司;
申请/专利号CN201010568775.0
申请日2010-12-01
分类号G03F7/021;G03F7/09;
代理机构上海德昭知识产权代理有限公司;
代理人缪利明
地址 200949 上海市宝山区罗泾镇陈镇路北
入库时间 2023-12-18 05:21:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/021 申请公布日:20120606 申请日:20101201
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-06-06
公开
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