公开/公告号CN102456106A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-16
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN201010529289.8
发明设计人 马平;
申请日2010-10-28
分类号G06F21/00(20060101);
代理机构11319 北京润泽恒知识产权代理有限公司;
代理人苏培华
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼
入库时间 2023-12-18 05:08:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G06F21/00 申请公布日:20120516 申请日:20101028
发明专利申请公布后的驳回
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F21/00 申请日:20101028
实质审查的生效
2012-05-16
公开
公开
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