公开/公告号CN102439421A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-02
原文格式PDF
申请/专利权人 陶氏康宁公司;赫姆洛克半导体公司;
申请/专利号CN201080022229.5
申请日2010-05-11
分类号G01N21/27(20060101);G01N21/65(20060101);C01B33/00(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张钦
地址 美国密执安
入库时间 2023-12-18 05:08:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/27 申请公布日:20120502 申请日:20100511
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/27 申请日:20100511
实质审查的生效
2012-05-02
公开
公开
机译: 使用拉曼光谱法定量测量气相工艺中间体
机译: 使用拉曼光谱法定量测量气相工艺中间体
机译: 使用拉曼光谱法定量测量气相过程中间场