公开/公告号CN102446960A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-09
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201110386901.5
申请日2011-11-29
分类号H01L29/24;H01L29/10;H01L27/108;H01L21/8242;
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人王敏杰
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2023-12-18 05:04:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L29/24 申请公布日:20120509 申请日:20111129
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-07-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/24 申请日:20111129
实质审查的生效
2012-05-09
公开
公开
机译: 用于构造的结构单元,所述结构单元的构造以及所述结构单元和所述构造的制备方法
机译: 用于构造的结构单元,所述结构单元的构造以及所述结构单元和所述构造的制备方法
机译: 用于平板显示面板检查的探针单元的双层连接结构的制备方法以及使用该方法的双层连接结构的制备方法