多晶硅铸锭炉下炉体定向凝固系统及其铸锭工艺

摘要

本发明涉及多晶硅铸锭炉下炉体定向凝固系统及其铸锭工艺，该下炉体定向凝固系统包括下炉体、隔热笼底板和抬升装置，隔热笼底板通过抬升装置驱动在下炉体内抬升、下降，抬升装置包括石墨支撑杆、丝杆、涡轮蜗杆升降机、抬升底板和伺服电机，在该铸锭工艺中，隔热笼往上抬升0～380mm同时，隔热笼底板往下降0～150mm，硅料由底部向上进行定向凝结。本发明的有益效果是：本发明采用抬升下炉体隔热笼底板的定向凝固系统及其铸锭工艺，可显著提高多晶硅的生长速度，提高原材料产能和新材料光电转换效率、节省原材料成本和消耗电量、系统定向凝固效果好且节省了铸锭炉自身的升级成本。