一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体

摘要

本发明公开了一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料，然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备：1、采用短切纤维；2、制备预制体；3、预氧化和炭化处理；4、沉积处理；5、浸渍处理；6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备，具有很高的抗折强度，因此极大地延长发热体的使用寿命，同时可以减少发热体的制造成本，从而明显降低了氢化炉的使用成本。