自动控制风量的空气过滤系统与自动控制风量的方法

摘要

本发明公开了一种自动控制风量的空气过滤系统与自动控制风量的方法，空气过滤系统包括微粒侦测器、控制器与风扇过滤单元。风扇过滤单元包括风扇与滤网。微粒侦测器侦测空间中的微粒数目，并且控制器根据微粒数目去调整风扇的转速。如此，风扇可根据微粒数目的多寡，自动地调整转速。本发明所提出的可自动控制风量的空气过滤系统与方法，可及时的监测无尘室中的微尘数，自动地调整风扇的转速。如此，当微尘数较低时，风扇的转速可以被调降，以达到节能的功效。另一方面，当微尘数增加时，风扇的转速可以被调升，使无尘室的环境洁净度提高，以让产线上的良品率保持一定的水准。