双脊金属线光栅偏振分束器

摘要

一种用于近红外波段(1-3μm)的双脊金属线光栅偏振分束器，该分束光栅的光栅周期为745～755纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为103～107纳米和110～115纳米，两脊之间距为255～260纳米，脊深为395～405纳米。当光垂直入射时，其中TM偏振光将透射，其0级透射效率在1-3μm波段范围内大于95％，TE偏振光将反射，其0级反射效率在1-3μm波段范围内大于95％，反射消光比大于15dB，透射消光比大于24dB。本发明双脊金属线光栅偏振分束器由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。