法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-30
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L41/047 申请公布日:20111207 申请日:20091111
发明专利申请公布后的驳回
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/047 申请日:20091111
实质审查的生效
2011-12-07
公开
公开
机译: 压电执行器用于阀门,具有压电层,中间电极,交替的横向电极接触以及将多层结构划分为子执行器的多层结构
机译: 压电执行器用于阀,具有压电层和电极的多层结构,内部电极的限定区域在压电层的接触部分附近被去除,没有内部电极要接触
机译: 压电执行器用于阀,具有多层压电层和内部电极的结构,内部电极和多个外部电极,用于执行器外侧的每个电压极性