蚀刻酸废液处理系统、蚀刻酸废液处理装置及适用于该系统与装置的蚀刻酸废液处理方法

摘要

本发明是通过蚀刻酸废液处理循环流道(5)来连续进行使用过滤器(2)去除固形物的固形物去除工序、及使用金属阳离子交换树脂塔(3)去除作为金属离子的金属阳离子的金属阳离子去除工序，在金属阳离子去除工序的上游侧进行固形物去除工序，并进一步进行金属阳离子去除工序之后，在蚀刻酸废液处理循环流道(5)的下游侧，进行使用螯合形成纤维或螯合形成树脂来至少去除B(硼)的金属阴离子去除工序，藉此即可通过蚀刻酸废液处理循环流道(5)来连续循环再利用蚀刻酸废液。