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公开/公告号CN102103971B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-11-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院大连化学物理研究所;
申请/专利号CN200910265445.1
发明设计人 侯可勇;花磊;吴庆浩;崔华鹏;李海洋;
申请日2009-12-29
分类号H01J49/16(20060101);
代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人马驰;周秀梅
地址 116023 辽宁省大连市中山路457号
入库时间 2022-08-23 09:11:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-11-07
授权
2011-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/16 申请日:20091229
实质审查的生效
2011-06-22
公开
机译: 真空紫外光电离和化学电离复合离子源质谱
机译: 无窗常压真空紫外线火花放电源,例如大气压光电离质谱法,具有从阳极到阴极的入口和出口,并且边缘彼此之间的距离最短
机译: 基于高压微空心阴极放电的用于光刻应用的单色真空紫外光源
机译:大气压电离质谱的微等离子体放电真空紫外光电离源
机译:真空紫外吸收光谱结合微放电空心阴极灯测量碳原子的技术发展及其在纳米石墨烯片材形成等离子体诊断中的应用
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机译:三氟拉林颗粒的臭氧化:用真空紫外光电离气溶胶飞行时间质谱仪进行的实验研究
机译:氧化物等离子体处理放电中真空紫外光谱的绝对强度;真空科学与技术学报