法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-08
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B5/02 授权公告日:20120801 终止日期:20130803 申请日:20100803
专利权的终止
2012-08-01
授权
授权
2011-06-15
著录事项变更 IPC(主分类):G01B5/02 变更前: 变更后: 申请日:20100803
著录事项变更
2011-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B5/02 申请日:20100803
实质审查的生效
2011-01-19
公开
公开
机译: 动态应变放大器的校准方法及动态应变仪的校准装置
机译: 半导体测试仪的校准装置及校准装置的维护方法
机译: 多个自等离子光学光谱仪,用于多个过程室的自等离子光学光谱仪的校准装置以及使用相同方法的校准方法