法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-11-28
授权
授权
2010-08-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/1341 申请日:20081210
实质审查的生效
2010-06-09
公开
公开
机译: 带有同步移动泵单元的涂装设备,该设备在移动冲模涂布头的过程中与冲模涂布头同步移动,并且相对于冲模涂布头和管线保持恒定的位置
机译: 雾状涂膜沉积设备的涂布头及其维护方法
机译: 带有涂膜的基质,该基质的制造方法以及包括带有涂膜的基质的半导体制造设备的成员