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c－取向排列ZnO:Al薄膜的制备方法

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摘要

一种c－取向排列ZnO:Al薄膜的制备方法，先驱体溶液的配制：按Zn

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-11-30

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01B13/00 公开日:20100217 申请日:20090828

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-04-21

实质审查的生效 IPC(主分类):H01B13/00 申请日:20090828

实质审查的生效
2010-02-17

公开

公开

1. c－取向排列ZnO:Al薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN101650990A . 2010-02-17
2. C－轴择优取向单晶ZnO六棱微管的制备方法 [P] . 中国专利： CN1594670A . 2005-03-16
3. Brief description of embodiments of a diode emitting in the ultraviolet a base of heterojunction of n - zno / p - gan: mg on a substrate made of al2o3 c - [P] . 法国专利： FR2886055B1 . 2007-10-19

机译：在由Al 2 O 3 c-制成的衬底上，在紫外线中发射n-zno / p-gan：mg异质结的碱的二极管的实施方案的简要说明。
4. ZnMgAlO thin films of UV ragne single crystalline Lattice matched to ZnO and Method for manufacturing the same [P] . 韩国专利： KR101213133B1 . 2012-12-18

机译：紫外氧化镁单晶晶格与ZnO匹配的ZnMgAlO薄膜及其制备方法
5. SINGLE CRYSTAL ZnMgAlO THIN FILM FOR ULTRAVIOLET RAYS, WHICH IS LATTICE MATCHED TO ZnO, AND PREPARATION METHOD THEREOF [P] . 世界知识产权组织专利： WO2011102627A3 . 2011-11-24

机译：单晶的ZnMgAlO薄膜，用于紫外射线的晶格匹配ZnO及其制备方法