静电电容隔膜型压力传感器

摘要

一种静电电容隔膜型压力传感器，其包括彼此相对设置的固定电极和隔膜，其中隔膜在外力作用下产生变形，并且从固定电极与隔膜之间的静电电容中获得压力，其中所述静电电容随隔膜的变形而发生变化，该传感器包括：包围传感器的主体的外壳；设在外壳内表面上的加热器；测量外壳内部的温度的温度传感器；以及温度调节电路，其将由温度传感器获得的温度信号与预设值进行比较并且基于比较结果输出用于驱动加热器的驱动信号。