抑制取代的环四硅氧烷聚合的稳定剂

摘要

本发明涉及抑制取代的环四硅氧烷聚合的稳定剂。本发明涉及(a)稳定环四硅氧烷，如1，3，5，7－四甲基环四硅氧烷，以防止其聚合的方法，其应用于电子材料生产制造中氧化硅的化学气相沉积工艺中，包括提供有效量的抗氧化聚合抑制剂到所述环四硅氧烷中；(b)环四硅氧烷如1，3，5，7－四甲基环四硅氧烷的组合物，其被稳定化以防止聚合，其应用于化学气相淀积工艺，在电子材料制造中作为氧化硅的前体，所述组合物包含如所述环四硅氧烷和抗氧化剂。