基板收入装置和基板收入方法

摘要

本发明提供一种能够实现基板处理系统小型化的基板收入装置。基板处理系统1具备的大致呈箱状的盒模块2包括：间接与对晶片W实施处理的加工模块5相连接，配置在顶棚部，并且连接有收容保持有多片晶片W的盒8的容器3的端口9；控制盒模块2的内部空间和与端口9相连接的容器3的内部的连通，使该内部空间与容器3的内部隔离的门阀10；从容器3中取出盒8，经由端口9搬入所述内部空间的载置体11、控制与容器3的内部相隔离的内部空间的压力并对该内部空间进行大气压－真空相互切换的气体导入口18和排气口19。