微动测量

摘要

一种微动测量装置具有第一个元件，例如探针尖端或平板，被连接到将被测量其移动的测试体(107)。第二个元件(104)位于邻近所述第一个元件的位置，来在它们之间形成间隙(108)。因为所述测试体和所述第一个元件逐渐远离所述测量元件，所以增加了所述间隙的大小，所述第二个元件重复地向前移动，来将所述间隙恢复到其原来大小。所述测量元件(104)的这些重复的量子化的微小移动被计算，并且被用来提供所述测试体(107)已经移动的距离的指示。在另外的实施方式中，所述第一个元件可以逐渐朝着所述第二个元件移动，同时后者重复地远离。