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热处理炉及其制造方法

摘要

本发明提供热处理炉及其制造方法,减少电阻发热体热膨胀收缩时支撑体与电阻发热体间的摩擦阻力,抑制电阻发热体因残留应力发生的永久变形,提高耐久性。热处理炉包括:收容被处理体并进行热处理的处理容器;包围处理容器的筒状隔热件;沿着该隔热件内周面配置的螺旋状电阻发热体;在该隔热件内周面沿轴方向平行设置,在轴方向以规定间距支撑电阻发热体的支撑体;在电阻发热体的外侧在轴方向以适当间隔配置,沿着直径方向贯通隔热件并向外部延伸的多个端子板。支撑体具有位于电阻发热体内侧的基部、从该基部通过电阻发热体间向半径方向外侧延伸的多个支撑片,形成梳状。支撑片上面部形成曲面状,以减少电阻发热体热膨胀收缩移动时的摩擦阻力。

著录项

  • 公开/公告号CN101315878A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-12-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;

    申请/专利号CN200810109373.7

  • 发明设计人 小林诚;中尾贤;

    申请日2008-06-02

  • 分类号H01L21/00;H05B3/66;H05B3/64;F27B17/00;F27D5/00;F27D11/02;

  • 代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘春成

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-17 21:06:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-04-06

    授权

    授权

  • 2010-05-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20080602

    实质审查的生效

  • 2008-12-03

    公开

    公开

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