同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件

摘要

本发明涉及的是一种光器件技术领域的同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件，其生物芯片由设置在绝缘体上的硅结构上的直的纳米硅波导和微波导环形谐振腔组成，微波导环形谐振腔由多于两个的硅波导环同圆心设置，直的纳米硅波导与微波导环形谐振腔通过第一空气间隙直接耦合，微波导环形谐振腔中波导环之间通过第二空气间隙耦合。其阵列实施器件由激光源、入射光探测计、出射光探测计、第一个芯片检测单元、第二个芯片检测单元和直的纳米硅波导组成。本发明可以大幅增加检测的面积和灵敏度，达到同时检测多种分子的目的，同时具有集成度高，制作工艺简单，设计灵活性高的特点。