氦质谱检漏仪接收器

摘要

一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3，其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。其中接收极3用产生二次电子系数更高的金属材料，如铝或铍青铜。