公开/公告号CN101208609A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 浜松光子学株式会社;
申请/专利号CN200680022712.7
申请日2006-06-20
分类号G01R31/302;H01L21/66;
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本静冈县
入库时间 2023-12-17 20:19:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-19
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/302 公开日:20080625 申请日:20060620
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-08-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-06-25
公开
公开
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