2－乙基己酸铌衍生物、该衍生物的制造方法、含有该衍生物的有机酸金属盐组合物及使用该组合物的薄膜的制造方法

摘要

本发明涉及2－乙基己酸铌衍生物，其特征在于，铌含量在13～16质量％，碳含量在50～58质量％的范围内，且仅由铌原子、氧原子和2－乙基己酸残基构成。上述2－乙基己酸铌衍生物可以通过使五(烷氧基)铌和2－乙基己酸反应制造。另外，本发明还涉及有机酸金属盐组合物，其特征在于，含有2－乙基己酸铌衍生物、除铌以外的金属前体、和至少1种有机溶剂。本发明还涉及在基体上制造薄膜的方法，其在基体上涂敷上述有机酸金属盐组合物，通过加热，形成含有铌元素和除铌以外的金属的薄膜。