用于增强确定衬底上的结构的坐标时的测量精确度的方法

摘要

一种用于以高精确度测量衬底上的至少一个结构的坐标的方法。提供可在X/Y坐标方向上横穿的平台，所述平台放置在干涉式光学测量系统中。所述衬底上的结构经由测量物镜(21)成像于至少一个检测器(34)上，所述测量物镜(21)的光轴(20)在Z坐标方向上对准。利用所谓的双扫描使所述结构成像。因此可消除系统误差。