一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法

摘要

本发明涉及信息光电子技术领域，一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法，包括：输入/输出光波导；在各输入/输出光波导上集成的三维光场模斑变换器；各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导；光开关驱动电极。利用在波导光开关阵列芯片输入/输出光波导上制作的集成式三维光场模斑变换器，将进入/输出小尺寸波导的光场模斑进行压缩/放大，达到提高标准单模光纤和小尺寸光波导之间的耦合效率，用小尺寸波导构造的光开关，特别是热光驱动开关，开关速度比大尺寸波导光开关要快。该集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列，其制备工艺同微电子标准CMOS工艺完全兼容，因此容易制作，便于大批量生产。